1.はじめに

近年における産業技術の高度な発達は、固体材料の宿命とも言える熱膨張1)すら制御することを求めています。1メートルに対して10 マイクロ(10万分の1)メートル程度の一般的な感覚からすればわずかな形状変化でも、ナノ(10億分の1)メートルレベルの高精度が求められる半導体デバイス製造や部品のわずかな歪みが機能に深刻な悪影響を与える精密機器などの分野では致命的になります。

このコンテンツを閲覧するにはログインが必要です。お願い . あなたは会員ですか ? 会員について